1700C Yüksek Vakum Üç Bölge Tüp Fırını Su Soğutma Flanşlı CVD Tüp Fırını

3 Bölge Tüp Fırını Ürün Özetleri

PTC D100/1500/17/3 tam vakum mühürleme flens ve su soğutma cihazları ile CE sertifikalı OD100mm büyük üç bölge boru fırınıdır.Her bir ısıtma bölgesi uzunluğu 20 inç ve bağımsız olarak üç hassasiyet 30 segment dijital sıcaklık denetleyicileri tarafından kontrol edilirIsıtma bölgeleri 1700°C'ye kadar güçlü 1800 MoSi2 elementleri ile ısıtılır. Tüp fırını üç bölgenin sıcaklığını ayarlayarak çeşitli termal eğimi oluşturabilir.Termal eğri altında işlevsel malzemeleri hazırlamak için mükemmel bir fırındır, ve ayrıca CVD tarafından nano veya film büyümesi için de kullanılabilir.

Ana Özellikleri

• Tmax 1700 °C
• Üç bağımsız ısıtma bölgesi, tüm uzunluğu 1500mm
• Minimum ısı kaybını korumak için çift çelik yapı, bölünmemiş fırın odası
• Tek bir döngüde birden fazla atmosfer süreci mevcuttur
• Maksimum vakum seviyesi moleküler pompa ile çalışan 10E-3 torr elde
• Güçlü MoSi2 ısıtıcı elemanları ile lif yalıtımlı oda, eşit sıcaklığı sağlar.
• Programlanabilir 30 segmentli Shimaden PID sıcaklık kontrolörü
• SS304 vakumlu mühürleme flensleri, valf ve basınç ölçer dahil
• Çift flens desteği daha iyi mühürleme ve daha uzun tüp ömrü sağlar
• Uzun ömürlü B tipi termokopl
• CE sertifikalı, standart

1700 Serisi 3 Bölge CVD Tüp Fırınları için Ramp, Konaklama ve Soğutma Eğimleri

Güvenlik Önlemleri

• İnşaa edilmiş ammeter ve çift voltmeter kolay izleme ve sorun giderme için.
• Aşırı ısınma koruması, sıcaklık kabul edilebilir aralıkların dışındaysa (kontrolörün kılavuzuna bakınız) veya termokopelin bozulduğunda veya arızalı olduğunda boru fırını kapatır
• Güç arızası koruması, güç yeniden kurulduğunda arıza noktasından hemen sonra fırının çalışmasına devam eder.
• Mikroprosesör tabanlı kendi kendine ayarlama PID kontrolü, minimum aşırılık ile en iyi termal süreci sağlar

Ürün Galerisi

Front View için3 Bölge CVD Tüp Fırını1700 derece C

Yan görünüm1700C için3 Bölge CVD Tüp FırınıSu soğutma cihazı ile

Ayrıntılariçin1700C3 Bölge CVD Tüp FırınıSu soğutma flens ve moleküler pompa ünitesi ile

Teknik özellikler

Başvuru Notları

• Gerekli güvenlik kontrolleri ve gözetim olmadan fırın borusuna Hidrojen veya Metan gibi patlayıcı gazları doldurmayın.
• Alümina tüpü olan 1700C boru fırınları vakum ve düşük basınç altında kullanılmak üzere tasarlanmıştır; 0.2 bar / 3 psi / 0.02 MPa
• Seramik boruların çatlama oranını en aza indirmek için, lütfen pozisyonunu değiştirin (boruda dört nokta işaretleyin) her partide
• Uzun süreli kullanım sırasında ateşe dayanıklı seramiklerin yüzeyinde küçük çatlaklar ortaya çıkabilir. Bu normal bir durumdur ve çatlaklar alümina kaplama ile onarılabilir

Boyut Karşılaştırması