1200C Çok Bölgeli CVD Tüp Fırını OD120mm 3 Bölge +/- 5C sıcaklık eşitliği ile

1200C Çok Bölgesel CVD Tüp Fırını (OD120mm, 3 Bölge), sıcaklık eşitliği +/- 5

1700C için Ürün ÖzetleriDöner tüp fırını

Çok bölgeli CVD boru fırını çalışma istasyonu, çok bölgeli ısıtma boru fırınından, hassas bir kütle akışı gaz kontrol istasyonundan oluşur.yüksek vakum pompa üniteleri ve fırın tüpü gibi diğer montaj parçalarıTmax 1200°C, moleküler vakum pompa üniteleri ile nihai vakum hızı 10^-7 torr'a çıkar.Toplu akış gazı kontrol istasyonu üç veya daha fazla gaz türünü bir araya getirir ve karıştırılmış gazı fırının içindeki kuvars tüpüne veya metal tüplere sokarÇok bölgeli boru fırını, vakum durumunda ve atmosfer koruması altında CVD, Difüzyon ve diğer termal işlemler gibi deneyler için yeterlidir.

Ana Özellikleri

• Tmax 1200°C
• Yatay, bölünmüş, çok bölgeli, CVD boru fırını
• İşleme tüpü olarak Inconel 600
• Maksimum vakum seviyesi 10E-7 torr
• 3 kanallı hassas kütle akışı gazı kontrolü
• Ayrı ayrı kontrol edilen çoklu ısıtma bölgeleri, daha iyi bir sıcaklık eğimi sağlar
• Çift flens desteği daha iyi mühürleme ve daha uzun tüp ömrü sağlar
• N tipi termokopüler
• CE sertifikalı, standart

Güvenlik Önlemleri

• İnşaa edilmiş ammeter ve çift voltmeter kolay izleme ve sorun giderme için.
• Aşırı ısınma koruması, sıcaklık kabul edilebilir aralıkların dışındaysa (kontrolörün kılavuzuna bakınız) veya termokopelin bozulduğunda veya arızalandığında CVD boru fırını kapatır.
• Güç arızası koruması, güç yeniden sağlandığında, arızadan hemen sonra fırının çalışmasına devam eder.
• Mikroprosesör tabanlı kendi kendine ayarlama PID kontrolü, minimum aşırılık ile en iyi termal süreci sağlar

Ürün Galerisi

1200C döner boru fırını için ön görünüm

Teknik özellikler

Başvuru Notları

• Gerekli güvenlik kontrolleri ve denetimleri olmadan CVD fırın borusuna Hidrojen veya Metan gibi patlayıcı gazları doldurmayın.
• Metal boruları olan boru fırınları, vakum ve düşük basınç < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa altında kullanılmak üzere tasarlanmıştır.
• Uzun süreli kullanım sırasında ateşe dayanıklı seramiklerin yüzeyinde küçük çatlaklar ortaya çıkabilir. Bu normal bir durumdur ve çatlaklar alümina kaplama ile onarılabilir

Boyut Karşılaştırması