1700C Yüksek Sıcaklık 3 Bölge Laboratuvar CVD Vakum Tüp Fırını OD60mm Alümina Tüpüyle

Ürün Genel Görünümü

PTC D60/600/17/3, CE sertifikalı 60mm OD 3 bölge boru fırınıdır.Her bir ısıtma bölgesi uzunluğu 12 inç ve bağımsız olarak üç hassasiyet 30 segment dijital sıcaklık denetleyicileri tarafından kontrol edilirBir bölge (ortak bölge) 1700°C'ye kadar Super-1800 MoSi2 elementleri ile ısıtılır ve diğer iki bölge 1400°C'ye kadar SiC elementleri ile ısıtılır.Tüp fırını üç bölge sıcaklığı ayarlayarak çeşitli ısı eğimi oluşturabilirTermal gradient altında fonksiyonel malzemeleri hazırlamak için mükemmel bir fırındır ve ayrıca CVD tarafından epitaksiyel film büyümesi için de kullanılabilir.

Ana Özellikleri

• Çalışma sıcaklık aralığı 1200°C-1700°C
• Çifte çelik yapı, minimum ısı kaybı; Bağımsız olarak kontrol edilen üç ısıtma bölgesi
• 99% 0,6 alümina tüpü, hızlı açılan SS304 su soğutma mühürleme flensleri ile
• Güçlü MoSi2 ısıtıcı elemanlar, eşit sıcaklığı sağlar
• Maksimum sıcaklık istikrarı ve tekdüzelik için lif yalıtımlı oda
• Programlanabilir 30 segmentli dijital PID denetleyici
• Ar, N2 CO, H2 vb. ile gaz karışımı için mevcut olan bireysel gaz kaynağı cihazı seti
• Uzun ömürlü B tipi termokopl
• CE sertifikalı

Güvenlik Önlemleri

• İnşaa edilmiş ammeter ve çift voltmeter kolay izleme ve sorun giderme için.
• Aşırı ısınma koruması, sıcaklık kabul edilebilir aralıkların dışındaysa (kontrolörün kılavuzuna bakınız) veya termokopül bozulduğunda veya arızalı olduğunda fırını kapatır.
• Güç arızası koruması, güç yeniden sağlandığında, arızadan hemen sonra fırının çalışmasına devam eder.
• Mikroprosesör tabanlı öz ayarlama PID kontrolü, minimum aşırılık ile en iyi termal süreci sağlar

Ürün Ayrıntıları

1700°C üç bölge yüksek sıcaklıklı CVD vakum boru fırını

• 1700C yüksek sıcaklıklı CVD boru fırını esas olarak beş parçadan oluşur: fırın gövdesi, fırın tüpü, flens mühürleme aksesuarları, gaz kaynağı sistemi,vakum sistemi ve sıcaklık kontrol sistemi
• Fırının dış çelik kabuğu turşulama ve fosfatlama ile işlenir, yüzeyde çevre toz kaplama, korozyon ve oksidasyon direnci, yerleşik soğutma fanı,Yüzey sıcaklığı Rt+45°C
• ISO, CE uyumluluğu

1700°C CVD yüksek sıcaklıklı 3 bölgelik boru fırını için oda profili

• Yüksek alümina seramik yalıtım, CNC gravür, oda duvarları sıkı bir şekilde bağlanır, U tipi MoSi2 ısıtıcısı, 1800C'ye kadar sıcaklığa dayanıklı
• 600 mm ısıtıcı uzunluk, alüminyum borusunun çapı 60 mm için uygundur. Yüksek alüminyum işleme borusu, 1700 ° C'ye kadar sıcaklığa dirençli,Fırın borusunun içindeki ısıtma bölgesinin kritik kısmı seramik boru fişleriyle donatılmıştır, bu da ısı kaçışını etkili bir şekilde engelleyebilir ve ısı kaybını azaltabilir.
• B tipi termokop

Hızlı açılış flange, fırın tüp destekleri, 1/4 "pagoda gaz nozu, vakum pompa ünitesi

• Malzemelerin hızlı yüklenmesi ve boşaltılması için SS304 hızlı açılan su soğutma flens aksesuarları ile donatılmış, yüksek sıcaklığa dayanıklı flüor kauçuk mühürleme halkaları ile mühürlenmiştir
• Hava girişi ve çıkışı, 8 mm dış çaplı bir PTFE borusuna bağlanabilen G1 / 4 inçlik pagoda hava nozu alıyor.
• KF25 ile bağlı moleküler pompa ünitesi, boşluk seviyesinin 10*-5mbar'a ulaştığından emin olun

1700°C CVD HIGH TEMP 3 ZONES TUBE OVEN için ısıtma programları

• Programlanabilir 30 segment, ısıtma hızı 1-10C/min serbest ayarlanabilir
• İyi ısı yalıtımı, doğal soğutma, hafif soğutma
• 7 inç dokunmatik ekran panel isteğe bağlıdır, ısıtma programları zamanında gösterilebilir ve indirilebilir

TTeknik Özellikler

Başvuru Notları

• İşleme tüp basıncı 0.02MPa daha düşük olmalıdır
• Gaz kaynağı basınç düşürücü valfi donatmalıdır
• H2 gibi redüksiyon gazları doldurmadan önce, tüp dışarı hava pompalamak gerekir
• Tüp gaz girişinden gaz doldurmak zaman, gaz çıkış vana açık olduğundan emin olmalısınız

Boyut Karşılaştırması