MFC Gaz Karıştırıcı ve Moleküler Pompa Birimi ile 1700C CVD 3 bölgelik Vakum Tüp Fırını

Ürün Genel Görünümü

PT D80/1500/17/3 yüksek sıcaklıklı, üç bölge CVD yüksek vakumlu boru fırınıdır. OD80mm alümina borusu, ısıtma uzunluğu 1500mm. 10-5torr'a kadar vakum seviyesi olan moleküler pompa ile donatılmıştır,3 kanallı MFC hassas kontrollü gaz karıştırma304SS su soğutma flensleri iğne valfleri ve ölçümlü, çeşitli gazlar için birden fazla hava girişi ve çıkışı.+/- °C sıcaklık kontrol doğruluğu ile bir mikroişlemci tabanlı kendi kendine ayarlama Yudian PID sıcaklık kontrol sistemi benimser, MoSi2 çubukları ısıtıldığında, maksimum sıcaklık 1700°C'ye (1500°C yüksek vakumda) ulaşabilir.vakum ince film kaplama, kalp hastalığı deneyleri vb.

Ana Özellikleri

• Tmax 1700°C
• 3 ısıtma bölgesi yüksek vakumlu, CVD boru fırını
• Çifte çelik yapısı, minimum ısı kaybı
• Moleküler pompa ünitesi, maksimum vakum seviyesi 10-5 torr'a kadar
• 3 kanallı MFC kontrollü gaz karıştırıcı
• Maksimum sıcaklık istikrarı ve tekdüzelik için MoSi2 ısıtma elemanları ile lifden yalıtılmış oda
• 304SS su soğutma mühürlenmiş flanslar
• +/-1°C doğruluğu ile programlanabilir 30 segmentli dijital PID denetleyici
• B tipi termokop
• ISO, CE

Güvenlik Önlemleri

• İnşaa edilmiş ammeter ve çift voltmeter kolay izleme ve sorun giderme için.
• Aşırı ısınma koruması, sıcaklık kabul edilebilir aralıkların dışındaysa (kontrolörün kılavuzuna bakınız) veya termokopül bozulduğunda veya arızalı olduğunda fırını kapatır.
• Güç arızası koruması, güç yeniden sağlandığında, arızadan hemen sonra fırının çalışmasına devam eder.
• Mikroprosesör tabanlı öz ayarlama PID kontrolü, minimum aşırılık ile en iyi termal süreci sağlar

Ürün Ayrıntıları

1700°C CVD 3 Bölge Vakum boru fırını MFC gaz karıştırıcı ve su soğutma cihazı ile

• PT D80/1500/17 esas olarak yedi parçadan oluşur: fırın gövdesi, fırın tüpü, flens mühürleme aksesuarları, gaz tedarik sistemi, su soğutma sistemi,vakum pompalama sistemi ve sıcaklık kontrol sistemi
• Fırının dış çelik kabuğu turşulama ve fosfatlama ile işlenir, yüzeyde çevre toz kaplama, korozyon ve oksidasyon direnci, yerleşik soğutma fanı,Yüzey sıcaklığı Rt+45°C
• Mükemmel görünüm, ISO, CE uyumluluğu

1700°C CVD 3 bölge yüksek vakumlu boru fırını için oda profili

• Yüksek alümina seramik yalıtım, CNC gravür, oda duvarları sıkı bir şekilde bağlanır, U tipi MoSi2 ısıtıcısı, 1800C'ye kadar sıcaklığa dayanıklı
• 600 mm ısıtıcı uzunluk, alüminyum borusunun çapı 60 mm için uygundur. Yüksek alüminyum işleme borusu, 1700 ° C'ye kadar sıcaklığa dirençli,Fırın borusunun içindeki ısıtma bölgesinin kritik kısmı seramik boru fişleriyle donatılmıştır, ısı kaçışını etkili bir şekilde engelleyebilir ve ısı kaybını azaltabilir
• B tipi termokop

Su soğutma flange, 1/4 "pagoda gaz nozu, Moleküler vakum pompa ünitesi

• SS304 su soğutma flens seti ile donatılmış, yüksek sıcaklığa dayanıklı flüor kauçuk mühürleme halkaları ile mühürlenmiştir
• Hava girişi ve çıkışı, 8 mm dış çaplı bir PTFE borusuna bağlanabilen G1/4 inçlik pagoda hava nozu alıyor
• KF25 ile bağlı moleküler pompa ünitesi, boşluk seviyesinin 10*-5mbar'a ulaştığından emin olun

1700°C CVD HIGH TEMP 3 ZONES TUBE OVEN için ısıtma programları

• Programlanabilir 30 segment, ısıtma hızı 1-10C/min serbest ayarlanabilir
• İyi ısı yalıtımı, doğal soğutma, hafif soğutma
• 7 inç dokunmatik ekran panel isteğe bağlıdır, ısıtma programları zamanında gösterilebilir ve indirilebilir

TTeknik Özellikler

Başvuru Notları

• İşleme tüp basıncı 0.02MPa daha düşük olmalıdır
• Gaz kaynağı basınç düşürücü valfi donatmalıdır
• H2 gibi redüksiyon gazları doldurmadan önce, tüp dışarı hava pompalamak gerekir
• Tüp gaz girişinden gaz doldurmak zaman, gaz çıkış vana açık olduğundan emin olmalısınız

Boyut Karşılaştırması